星际电力信息网 智能电网 | 火电 | 节能环保 | 核能 | 烟气脱硫 | 电力软件 | 仪器仪表 | 开关电器 | 电源 | 变压器 | 输配电 | 油气煤 | 电检修 | 能源管理 | 重负荷 +
电力安防 | 风电 | 电网中心 | 水电 | 电力建设 | 电线电缆 | 弱电信息 | 太阳光伏 | 储能 | 自动化 | 机器人 | 农电网 | 信息化 | 设备管理 | 设计院
重器机电 | 选型 | 应用设计 | 采购 | 安装调试 | 操作使用 | 维护维修 | 升级改造 | 传感 | 物联网 | 机械化 | 生产化 | 企业化 | 工程管理 | 特高压
 
当前位置: 首页 » 激光 » 激光动态 » 正文

争夺光刻技术:尼康向ASML发起诉讼

放大字体  缩小字体 发布日期:2017-05-30  浏览次数:101
核心提示:近日,尼康发起了一系列针对竞争对手ASML公司光刻系统及其关键光学元件供应商蔡司公司的专利侵权诉讼。在荷兰,尼康日本公司已经
近日,尼康发起了一系列针对竞争对手ASML公司光刻系统及其关键光学元件供应商蔡司公司的专利侵权诉讼。
在荷兰,尼康日本公司已经提交了十一项针对ASML的诉讼,并声称将在东京的法庭采取进一步的行动。起诉对象还包括了在德国曼海姆的蔡司公司,该公司是经营卡尔蔡司半导体制造技术(SMT)的子公司。ASML公司立即作出回应,称将对“不必要的”诉讼进行自辩。在写作改稿的时候,蔡司尚未发出正式回应。ASML将在数周内对卡尔蔡司半导体制造技术公司完成十亿欧元的股权投资,作为开发下一代光刻光学的一部分。

聚焦浸入式光刻技术
尼康的诉讼集中在沉浸式光刻技术,是一种光学“技巧”。该技术用于缩小半导体器件中形貌的大小,已被广泛使用了数年。十多年前,相关公司签署了一项关于技术的交叉许可协议,该协议规定了一段固定的时间内,包括一些专利永久的授权和其他条款。ASML表示,在过渡期间双方已同意不发起任何诉讼,2014年末该协议到期。
荷兰公司首席执行官 Peter Wennink 声称自那时以来,尼康还没有正式启动谈判后续协议的尝试。“尼康的诉讼是毫无根据的,不必要的,并增加了半导体行业的不确定性,”他说。“在过去的几年中,ASML已经多次试图通过谈判与尼康讨论交叉许可协议的扩展。令我们失望的是,尼康没有作出任何认真的努力进行谈判,却选择了采取法律行动。
“我们认为,谈判结果将会对整个行业有利,并促进创新和协作。这种不必要的专利诉讼使我们分散了对真正重要的东西的关注:为了芯片厂商的利益推动技术向前发展。我们应该在市场上竞争,而不是在法庭上。”
这种说法与尼康的说法不符,日本企业在其发布的声明中称:“尼康已经和ASML和蔡司为达成一个解决这些问题的方案进行了会面。但是这些努力,即使在一位经验丰富的调解员的引导下,也未能产生解决方案。ASML和蔡司继续未经授权使用尼康的专利技术使得尼康别无选择,只有通过法律手段来解决。”
公司总裁Kazuo Ushida说:“我们坚信,ASML未经授权使用尼康的专利是我们最先进的技术,包括浸没式光刻技术,这使ASML扩大了其光刻的业务。对知识产权的尊重是公平和健康竞争的基础,对促进创新并为社会提供最先进的产品和服务来说也是必要的。这就是为什么我们决定开始这场诉讼。”
能否达成协议
早在2001年,尼康就在美国提起了早期诉讼,根据日本公司表示赞成的条款,最终在2004达成和解。然而,和解协议包括所谓的“非断言”期间,尼康现在正在寻求赔偿。
“ASML和蔡司都不愿意接受的条款反映了尼康的专利技术的价值。”(尼康)公司说道。虽然近年来的关注焦点是在极紫外线(EUV)光刻系统的发展,基于浸入式氟化氩准分子激光器的步进电机的销售(ARF)仍是ASML目前收入的基础。
根据荷兰公司自己的数据,2016年ASML四分之三的销售额来自氟化氩浸没式工具,大约等于35亿欧元。
就在上周,ASML报道称氟化氩浸没式系统占其目前37%的存货–等于大约17 亿欧元的销售额。 实际上,浸没光刻技术的原理可以追溯到卡尔·蔡司在第十九世纪取得的,本用于提高显微镜分辨率的成果。近来,该成果通过衍变已被用在光刻光学中,可将数值孔径提高到标称(衍射)极限以上。
它配备的工作在193nm的氟化氩激光源的光刻工具和波长更短的157纳米氟激光器一样有效率; 而157nm激光的方案已经持续探索了很多年,但最终被淘汰了。
(4月25日更新)蔡司此后作出回应,称否认任何侵权指控。公司声明:
作为半导体产业的技术驱动者,蔡司依靠创新和合作以及接受知识产权作为其工作的基础。Carl Zeiss SMT公司和其战略合作伙伴ASML容纳成千上万的在许多不同的国家的专利。蔡司认为专利诉讼对整个半导体行业是有害的,因为它使制造商不履行自己的责任,不利于推动光刻技术的发展,同时损害芯片制造商的利益。
“因此,蔡司向尼康提出延续2014年底到期的交叉许可协议,该协议授权专利的相互使用。令蔡司感到失望的是,尼康没有作出任何认真的谈判,却选择了采取法律行动。”
 
 
温馨提示:您正在浏览的文章标题是 “争夺光刻技术:尼康向ASML发起诉讼”
原载地址: http://www.xjdli.com/laser/show.php?itemid=152
版权声明:本网站刊载的资讯由网友提供分享,资讯内容纯属作者个人观点,不表示星际电力信息网同意其说法或描述,仅为提供更多信息,也不构成任何建议。网友转载请注明原作者姓名及出处。如有侵犯到您的版权,请与我们联系。对于星际电力信息网的原创作品,受国家知识产权保护,版权属于星际电力信息网所有。转载务必注明出处及作者。凡用于商业用途需征得书面同意,否则追究法律责任。
 
 
[ 激光搜索 ]  [ 加入收藏 ]  [ 告诉好友 ]  [ 打印本文 ]  [ 关闭窗口 ]

美女孟露丝带遮胸翘臀诱惑尺度大 猫咪女郎李雪婷张腿写真纹身抢眼 宅男女神张鑫娇美身材性感私房照 性感尤物王语纯身缠警戒带更迷人 俏皮小妹赵小米性感美乳翘臀痒你心 小猫咪温怃怡蕾丝情趣内衣私房照
伊拉克极端武装处决大批伊安全部队士兵 金正恩视察酒厂照片 乌克兰空袭炸死多名亲俄武装分子 英国男子被雷劈死 样子恐怖吓人 反恐维稳一线民警蹲地吃盒饭照走红(图) 韩国一艘载有477人客船沉没
男子在西安街头先杀人后自杀 叙利亚反对派山寨武器曝光 土豪专属:梦幻般的劳斯莱斯游艇 纯电动飞行器 马航飞机失踪 俄外交部确认黑海舰队装甲车辆进入克里米亚
 
相关评论

星际视野
星际电力
 
郑州昆仑中原传感工控科技有限公司
推荐图文
星际电力商城 宁波国际电工电气博览会 宁波国际电工电气博览会
推荐激光
点击排行
热点图文
 
网站首页 | 注册告知 | 关于我们 | 联系方式 | 使用协议 | 版权隐私 | 网站地图 | 排名推广 | 广告服务 | 积分换礼 | 网站留言 | RSS订阅 | 苏ICP备12047061号-1
Powered by DESTOON